摘要：本文設(shè)計(jì)制作了基于鋁基襯底的微溝道陣列器件,并研究了納秒脈沖微溝道等離子體放電特性。通過(guò)調(diào)控納秒脈沖輸出波形,獲得了脈沖參數(shù)對(duì)微溝道等離子體放電特性的影響規(guī)律。結(jié)果表明,相比于傳統(tǒng)的正弦波驅(qū)動(dòng),納秒脈沖微溝道等離子體放電更集中,耦合效應(yīng)更明顯,且等離子體特性更易于調(diào)控。當(dāng)改變脈沖參數(shù)時(shí),6%左右的波形過(guò)沖電壓會(huì)造成微溝道等離子體放電強(qiáng)度~30%的改變。另外,脈沖上升沿時(shí)間越短,放電強(qiáng)度越高,當(dāng)上升沿時(shí)間由152 ns縮短至32 ns時(shí),放電強(qiáng)度可提升~30%。