首頁 > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 信息科技 > 無線電電子學(xué) > 液晶與顯示 > TFT-LCD摩擦工藝過程中靜電放電不良分析及改善設(shè)計 【正文】
摘要:本文對摩擦工藝過程中的線不良進(jìn)行了分析,通過切割驗證、設(shè)計方案變更驗證了降低ESD風(fēng)險的兩個方向。通過實際的驗證結(jié)果分析發(fā)現(xiàn),減小填充圖形的面積或者將填充圖形連接到公共電極,同時搭配填充圖形到信號線的距離增加到大于60μm,可以大大降低靜電放電發(fā)生的概率,不良率由20%降低到0%。結(jié)果充分表明,此設(shè)計方案可應(yīng)用于實際產(chǎn)品設(shè)計中以降低摩擦工藝過程中的ESD風(fēng)險。
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主管單位:中國科學(xué)院;主辦單位:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國物理學(xué)會液晶分會
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