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半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中的潔凈技術(shù)
陳賢 中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團公司信息技術(shù)研究院，北京100089
- 集成電路
- 污染
- 超凈環(huán)境
摘要：文章對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染物類型及造成污染的主要原因做了詳細(xì)介紹.為減少對半導(dǎo)體集成電路的污染,必須保證半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)在高度潔凈的環(huán)境中進行.集成電路制造業(yè)是一個在超凈化環(huán)境中,使用超純材料,進行超微細(xì)加工的產(chǎn)業(yè).文章還對各種潔凈標(biāo)準(zhǔn)做了詳細(xì)介紹.隨著集成電路生產(chǎn)目前進入深亞微米及納米級工藝加工階段,工藝參數(shù)以及圖形線寬也發(fā)生了變化,因此對潔凈度等級、工藝中所使用的材料品種和純度指標(biāo)的要求還在不斷提升.
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洗凈技術(shù)
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- 環(huán)境 快捷分類
- 月刊 出版周期
主管單位：中華人民共和國信息產(chǎn)業(yè)部;主辦單位：中國洗凈工程技術(shù)合作協(xié)會
