摘要：本文對(duì)一種基于槽型微環(huán)諧振器的生物傳感器進(jìn)行了研究,通過微環(huán)諧振器與槽型波導(dǎo)的結(jié)合,增強(qiáng)光與傳感媒質(zhì)的相互作用,減小傳輸損耗的制約影響。采用時(shí)域有限差分法(FDTD)研究了波導(dǎo)有效折射率隨傳感物質(zhì)材料折射率的變化,結(jié)果顯示它們呈線性關(guān)系,這為折射率的有效傳感提供了可能。采用電子束光刻和等離子體刻蝕技術(shù)在SOI基片上制備了樣品,SOI基片的頂層硅和埋入氧化層的厚度分別為220 nm和2μm,微環(huán)諧振器的微環(huán)半徑為30μm。采用波導(dǎo)光柵耦合器來實(shí)現(xiàn)光的輸入和輸出,頻譜測(cè)量顯示槽型微環(huán)諧振器的品質(zhì)因數(shù)達(dá)到了2 940,通過測(cè)量傳感器表面覆蓋不同濃度的氯化鈉溶液時(shí)光譜謝振峰的變化,得到傳感器的靈敏度和檢測(cè)極限分別為980.24 nm/RIU和5.4×10^-4 RIU。