摘要：針對(duì)亞波長(zhǎng)光柵偏振分束器無(wú)法實(shí)現(xiàn)垂直出射光、集成耦合效率低的問題,本文設(shè)計(jì)了一種具有光束偏轉(zhuǎn)功能的亞波長(zhǎng)光柵偏振分束器,可實(shí)現(xiàn)偏振分束且能獲得垂直出射光。器件上層采用光柵衍射理論設(shè)計(jì)了可實(shí)現(xiàn)偏振分束的周期亞波長(zhǎng)光柵,下層通過(guò)嚴(yán)格耦合波法與波前相位控制理論設(shè)計(jì)了具有光束偏轉(zhuǎn)功能的非周期亞波長(zhǎng)光柵。基于有限元軟件COMSOL對(duì)設(shè)計(jì)的器件進(jìn)行仿真分析,結(jié)果表明該器件可分開TE與TM混合偏振光且能實(shí)現(xiàn)光束垂直出射,兩種偏振光的總透射率在1550nm處超過(guò)了76.5%,偏振消光比為14.0dB。因此通過(guò)該偏振分束器不但可以獲得垂直出射的單偏振光,而且能有效提高垂直耦合型器件的工作效率,有望應(yīng)用在面向光纖通信的集成光電器件中。