首頁 > 期刊 > 自然科學與工程技術 > 信息科技 > 無線電電子學 > 電子工業(yè)專用設備 > 光刻機物鏡主動阻尼接口設計及測量系統(tǒng)布局 【正文】
光刻機物鏡主動阻尼接口設計及測量系統(tǒng)布局
葛黎黎; 周暢; 朱岳彬 上海微電子裝備(集團)股份有限公司; 上海201203
- 光刻機
- 主動阻尼接口
- 測量系統(tǒng)布局
摘要：提出一種光刻機物鏡主動阻尼接口方案及測量系統(tǒng)布局方案,采用有限元仿真方法評估了在工作臺質心變化及動態(tài)沖擊狀態(tài)下物鏡內部相對靜變形及動態(tài)響應滿足指標需求;結合測量系統(tǒng)布局設計了工作臺水平向及垂直向補償策略,實現(xiàn)了物鏡至測量系統(tǒng)間的相對靜變形及動態(tài)響應滿足指標需求;采用機電聯(lián)合仿真方法評估了物鏡主動阻尼方案幅值衰減滿足指標需求并通過現(xiàn)場實物開/閉環(huán)傳函測試驗證了仿真的準確性。
- 光刻機
- 主動阻尼接口
- 測量系統(tǒng)布局
摘要：提出一種光刻機物鏡主動阻尼接口方案及測量系統(tǒng)布局方案,采用有限元仿真方法評估了在工作臺質心變化及動態(tài)沖擊狀態(tài)下物鏡內部相對靜變形及動態(tài)響應滿足指標需求;結合測量系統(tǒng)布局設計了工作臺水平向及垂直向補償策略,實現(xiàn)了物鏡至測量系統(tǒng)間的相對靜變形及動態(tài)響應滿足指標需求;采用機電聯(lián)合仿真方法評估了物鏡主動阻尼方案幅值衰減滿足指標需求并通過現(xiàn)場實物開/閉環(huán)傳函測試驗證了仿真的準確性。
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